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成都市新都道和电工研究所
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潘宁规(真空计)
潘宁规(真空计)
成都道和电工研究所研发的真空潘宁规提供了可靠的高真空测量。无高真空灯丝。由于等离子点火的钛阴极板和高电压降低,潘宁规也可以应用在阴极溅射镀膜工艺上。
特点:
>测量范围广:5 X 10 -7~1 Pa
>全金属冷阴极陶瓷传感器
>新型几何电极提供了极好的点火性能
>降低等离子点火高电压和钛阴极板污染的危险,即使在氩溅射过程中也一样
>阳极环和钛阴极可清洗,更换容易
>最小磁场强度测量
>LED指示灯电源和等离子点火
>对数模拟输出信号
>Fieldbus总线接口,集成到真空系统的网络通信
联系方式
成都市新都道和电工研究所
地址:成都市新都区宝光大道南段386号
电话:
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