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日本日机电装 高精密直线电机X-Y Stage / X-Y-Theta Stage 1．高精度：0.1um分辨率， 2．高重复精度：+/-0.5um 。 3．高运动速度： 4．高加速度： 5．速度波动极小：速度波动控制在+/-0.04%之内。 6．极稳定的低速特性：在速度为10mm/s时的速度波动为0.2%。 7．快速定位 |
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