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API新型XD激光干涉仪 技术参数 三维： 1. 线性精度：0.5ppm 2. 测量范围：40米（1维可选80米） 3. 线性分辨力：0.001um 4. 直线度精度：（2.0+0.4/m）um或2%显示值 5. 最大测量范围：+/-500um 6. 直线度测量距离：0-25m 7. 垂直度精度：+/-1角秒 8. 温度精度：0.2摄氏度 9. 压力精度：1mmHg |
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