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美国矽翔微机电系统有限公司中国分公司
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FS5000 MEMS气体流量计
FS5000系列专为普通气体的监控而设计。由于我公司的信号跟踪检定能力设计，该传感器可直接测量流体质量。可侦测最低流速为20 nL/min的流体。传感器可应用于多气流管道的测量、泄漏侦测，HVAC控制，净化空气或氮气监控，环境设备如空气采样机、分析仪器如GC分光仪。
FS5001可设定为可测满量程为1-1000 sccm (1 SLPM)，并可根据客户需求进行定制。该产品可即插即用，具有多种用途。

产品特点：

－专为流量跟踪测量而设计，测流量最低可达20nL/min
－卡口式设计可应用于多气道
－快速响应时间有利于精密测量的应用
－在分析设备表现卓越，如：GC分光仪
－多样化的可调节方式可轻松应用于不同环境
－内置安全插件可适用于更多的应用中

FS5001 单 位
满量程 1 to 1000 sccm (NmL/min)
工作电压 8~18 Vdc
输出方式 RS232, I2C, 模拟
最大输出 4.5 Vdc
精度 ±(1.5+0.2FS) %读数
重复性 ±0.75 %读数
零点飘移 0.5 Vdc
响应时间 50 msec
最大压力 0.8 MPa
工作温度 -20~+70 °C
标准校准气体 空气
机械连接 O型密封圈

选型表：

型号
电气接口
机械接口
最大工作
压力
准确度
最大流量

FS5001-5SCCM
5Pin插针
平面密封
0.6MPa
±(1.5+0.5FS)%
5SCCM

FS5001-50SCCM
5Pin插针
平面密封
0.6MPa
±(1.5+0.5FS)%
50SCCM

FS5001-200SCCM
5Pin插针
平面密封
0.6MPa
±(1.5+0.5FS)%
200SCCM

FS5001-500SCCM
5Pin插针
平面密封
0.6MPa
±(1.5+0.5FS)%
500SCCM

FS5001-1SLPM
5Pin插针
平面密封
0.6MPa
±(1.5+0.5FS)%
1SLPM

FS5001-2SLPM
5Pin插针
平面密封
0.6MPa
±(1.5+0.5FS)%
2SLPM

联系方式
美国矽翔微机电系统有限公司中国分公司
地址：成都市高朋东路2号
电话： 请点击此处与厂家联系
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