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北京南轩兴达电子科技有限公司
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手动石英管清洗机
1、设备概要
本设备适用于2″- 12″石英管清洗，同时也可以清洗其它能放入清洗槽中的石英器具（石英槽、石英舟、石英台等）。本设备由国内专家亲自指导设计，采用国际标准生产加工，在超净厂房组装调试，此产品达到国内半导体生产线使用要求。

2、设备简介
2.1设备整体尺寸: 4500mm (长)×1500mm (宽)×2600mm (高)
2.2设备构成：
 设备骨架用低碳钢制做，外包象牙白色PVC板，美观抗腐蚀。
 有两个槽体：1# 稀氟酸槽，2# DIW冲洗槽。
 每个槽的底部都有两个滚动轴，由电机驱动旋转。石英管放在滚动轴上。清洗过程中，石英管按照一定速度转动（速度可设定）。两个滚动轴的间距能够方便调节，以适应不同直径的石英管。槽内有一个喷淋柱伸至石英管内，使药液能喷至石英管内壁，起到清洗石英管内壁的作用。设备还可以对石英槽、石英舟等石英器具进行清洗，清洗时电机可设定待机状态（既电机不转动）。请参见附图。
 1# 稀氟酸槽配有溢流、循环、过滤、鼓泡功能。通过循环泵、过滤器等组成的过滤系统，对药液循环过滤，能延长药液的使用时间。
 采用数显时间继电器，清洗时间可在1-9999秒范围内设定
 排风系统通过设备后部夹层，从设备顶部接触排气管与用户排气系统连接
 配有照明系统
 配有前拉门，保证工作间内的工作环境。
2.3清洗工艺过程：
 清洗石英管过程：
进入1# 稀氟酸槽，滚动、喷淋、清洗 → 进入2# DIW冲洗槽，滚动、喷淋、冲洗
 清洗石英器具过程：
进入1# 稀氟酸槽，喷淋、清洗 → 进入2# DIW冲洗槽，喷淋、冲洗
联系方式
北京南轩兴达电子科技有限公司
地址：北京市通州区潞城镇康各庄村北京南轩兴达电子科技有限公司
电话： 请点击此处与厂家联系
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