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硅片腐蚀机
1、设备名及编号: 8# 腐蚀机8 EKC NRS 1020 Stip
本设备是7槽硅片腐蚀清洗机，适用于4英寸半导体硅片清洗工艺。本设备由国内专家亲自指导设计、加工、组装和调试。采用国际标准生产加工，在超净厂房组装测试，有可靠的质量保障。

2、设备主要技术结构
1）整机结构组成 SUS304不锈钢框架+PVC包板、操作台面、清洗槽体、药液温度控制系统，排风、机台照明、电气控制系统等组成。
2）共7个槽体，其中包括：
1# 药液槽―――――――1个
2# 药液槽―――――――1个
3# 药液槽―――――――1个
4# 药液槽―――――――1个
5# 药液槽―――――――1个
6、7# DIW溢流槽――――2个

联系方式
北京南轩兴达电子科技有限公司
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