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单槽清洗机 1、设备名称和型号 1.1设备名称：单槽清洗机 1.2设备型号：NXXD-4SH-01B 1.3设备数量：7台 2、设备用途： 用于清洗去除抛光后晶片表面上的抛光蜡，A抛光液体，表面颗粒物，金属离子等。 3、设备能力和清洗硅片尺寸 2---3英寸 |
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