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定位系统DLM/DLM 120、160、200 定位系统DLM/DLM 120、160、200 定位系统DSM/DSP 160 带有圆杠钢滑道的机械系统(内装钢滑道)，直线伺服电 机驱动 重复定位精度 标准：±0.1mm 最大：±0.01 mm 速度 最大8m/sec |
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