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NX系列无尘机器人 NX系列机器人 用于半导体、有机EL、LCD面板 中等伸展距离水平手臂 NX系列无尘机器人被设计为与两个或三个300mm的FOUP配合使用，而不需要使用轨道。NX系列在设计上与NS系列类似，但是附加的独立轴更换了RTZ动作设计，显著增加了NX的运动范围。 NX系列机器人: NX510 2链接，单手臂 NX520 2链接，双手臂 NX540 3链接，单手臂 应用: 无尘室 无尘机器人外设: 抓手校准器NS004 |
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