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常州市祺科机械制造有限公司
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单晶炉（QK-CZ 80型）
单晶炉
本设备采用软籽晶轴，具有独特的籽晶提升机构，降低了单晶炉的高度，便于装配维修和拉晶操作，同时实现了籽晶轴转速稳定的效果

炉体部件采用304L不锈钢，法兰整体锻造，经过振动消除应力、缺陷检查和探伤检验及氦质朴检漏仪检漏

液压传动装置能准确的完成主炉室和副炉室的开启，炉室、副炉室上升到位后对称旋出，保证主机稳定可靠，并便于机动取出晶体，拆装热场系统和清理炉内各部。

浮动式翻板阀设在主副炉室之间，可在热场维持工艺温度的情况下，取出晶体，更换籽晶和补充加料进行连续拉晶。

具有各类自动联锁和安全措施，在主要部位设冷却水水温的巡回检测与起温报警。冷却水欠压报警。电流过流保护，主、副室限位互锁等。

氩气流量精确控制，两路氩气进炉并带应急手动

提拉头经过严格的静平衡和动平衡测试，高速旋转下籽晶晃动小于2mm，适应半导体工艺需求

设备使用高可靠性的PLC系统与工业触摸屏，模块化组合方便在线维修，中英文界面，SOP在线修改实时生效，10组实时曲线，60多项提示报警，近百个炉内数据显示。该控制系统采用红外测温仪进行直径的控制，同时在传感器与执行器满足情况下能完成抽真空、检漏、压力化、自动熔料、稳定化、放肩、等径、收尾、停炉等自动步骤。同时系统结构简单，抗干扰能力强，可靠性高，具备升级全自动的电气接口。

电源系统控制调节器采用全数字化设计，功能强大；低压电源采用优质产品，性能可靠；主变压器采用五芯柱结构，原边调压，具有显着的节能效果；调压、整流部分采用水冷方式。系统具有各种故障报警及自动停机保护功能。
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