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常州市祺科机械制造有限公司

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单晶炉(QK-CZ 90型)
本设备采用软籽晶轴,具有独特的籽晶提升机构,降低了单晶炉的高度,便于装配维修和拉晶操作,同时实现了籽晶轴转速稳定的效果

炉体部件采用304L不锈钢,法兰整体锻造,经过振动消除应力、缺陷检查和探伤检验及氦质朴检漏仪检漏

液压传动装置能准确的完成主炉室和副炉室的开启,炉室、副炉室上升到位后对称旋出,保证主机稳定可靠,并便于机动取出晶体,拆装热场系统和清理炉内各部。

浮动式翻板阀设在主副炉室之间,可在热场维持工艺温度的情况下,取出晶体,更换籽晶和补充加料进行连续拉晶。

具有各类自动联锁和安全措施,在主要部位设冷却水水温的巡回检测与起温报警。冷却水欠压报警。电流过流保护,主、副室限位互锁等。

氩气流量精确控制,两路氩气进炉并带应急手动

提拉头经过严格的静平衡和动平衡测试,高速旋转下籽晶晃动小于2mm,适应半导体工艺需求

设备使用高可靠性的PLC系统与工业触摸屏,模块化组合方便在线维修,中英文界面,SOP在线修改实时生效,10组实时曲线,60多项提示报警,近百个炉内数据显示。该控制系统采用红外测温仪进行直径的控制,同时在传感器与执行器满足情况下能完成抽真空、检漏、压力化、自动熔料、稳定化、放肩、等径、收尾、停炉等自动步骤。同时系统结构简单,抗干扰能力强,可靠性高,具备升级全自动的电气接口。

电源系统控制调节器采用全数字化设计,功能强大;低压电源采用优质产品,性能可靠;主变压器采用五芯柱结构,原边调压,具有显着的节能效果;调压、整流部分采用水冷方式。系统具有各种故障报警及自动停机保护功能。

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