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江苏英思特半导体科技有限公司

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石英炉管 石英舟 清洗机
1.1 设备概况:

1.1.1 主要功能:设备主要采用人工上下料、机械手自动实现槽体之间转移方式,对2--12英寸石英炉管或其他石英配件进行酸液浸泡、水槽喷洗、水槽溢流漂洗、水槽氮气鼓泡等方式进行处理,从而达到一个优异的清洗效果;

1.1.2 被清洗炉管尺寸(Max):2--12英寸的石英炉管,;

1.1.3 设备形式:无尘室(class 1000级 fab)内放置型;

1.1.4 清洗时间:0~999MIN(可根据实际工艺时间而定);

1.1.5 操作形式:触摸屏 自动/手动操作;

1.2 设备组成

1.2.1 该设备主要由壳体部分、槽体部分、管路系统、机械臂机构、排风系统、电控部分及防漏液盘组成;

1.3 设备描述

1.3.1 该设备是一个全自动(清洗)的处理设备;

1.3.2 触摸屏(PROFACE、OMRON)显示 / 检测 / 操作;

1.3.3 清洗工作过程由欧姆龙或三菱PLC 控制;

1.4 设备特性

1.4.1 需要漂洗能力强,性能稳定,安全可靠;

1.4.2 需要设备成本合理,自动化程度高,使用成本低;

1.4.3 设备上层为电器控制系统、机械臂机构及抽风系统,中层为工作区,下层和后下部为管道安装维修区;

1.4.4 设备结构设计必须合理,方便工程师维护、维修,适宜生产线上大批次操作;

1.4.5 机台要求有回收水装置,在排水管路上安装一个三通装置,并在程式中选择排水路径,将水排入纯回水管路或者DHF管路;

1.4.6 配备一个可移动的清洗架,主要用于清洗小件Quartz和boat;

1.4.7 在水槽左右侧壁处需要开溢流口(开关状态可受控制);

1.4.8 在整台设备的底部装有防漏液盘;

1.4.9 台面网孔设计;

1.4.10 水平调整:通过地脚调整设备水平;

1.4.11 设备移动:设备装有树脂脚轮以备设备移动之用;

1.4.12 上料平台操作面高度:950mm;

1.4.13 操作面门设计:单开门透明的PVC活动门(上下推拉+配重);

1.4.14 对水槽和酸槽清洗操作流程可自由编写程式,并自动运行;

1.4.15 在水槽两头需要安装水枪和气枪各一支;

1.4.16 设计内外槽:内槽为酸槽,外槽为水槽;(内外槽,分别有溢流功能)

1.4.17 使用酸液为:49%HF与DIW配比后的HF

1.4.18 各槽材质:酸槽为PVDF(耐化学腐蚀),水槽为NPP(耐腐蚀);

1.4.19 防漏槽材质为:PP;

1.4.20 机械手臂需要能够上下左右移动(上升时需要有略倾斜功能----左右落差3cm, 将酸液倒出);

1.4.21 机械手臂需要采用伺服电机控制;

1.4.22 使用的DI WATER和酸液(HF49%)都是由厂务系统提供;

1.4.23 需要日常照明以及alarm信息的存档和查看;

1.4.24 自动清洗流程

人工上料→选择好相应的清洗时间→按AUTO(RUN,door open interlock)键→系统自动移动到酸槽进行酸洗(右边比左边低3CM下行)→等泡酸时间结束系统自动将Quartz提起(右边比左边低3CM上行)→系统自动移动到水槽进行清洗→清洗完成后定位在水槽上方→所有动作完成后蜂鸣器报警(1分钟)→人工下料;

联系方式
江苏英思特半导体科技有限公司
地址:如皋市城南街道新源北路8号11号厂房
电话: 请点击此处与厂家联系

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