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相干第三代LPXpro准分子激光器 为适应RoHS指令对环保的要求，目前LPXpro准分子激光器的产品线已经调整到第三代，并提供了完全改良的控制器单元及延长的使用寿命。凭借其超净室制造技术，LPXpro具市场上最长的气体及元件寿命；且具有灵活的工作波长范围，允许工作在193nm、248nm或351nn，而C-版本更具有特殊的308nm波长，并可工作在特殊设计的157nm波长。 凭借其短波长及窄脉冲宽度，LPXpro激光器被广泛应用于微加工、PLD、LDP、激光雷达以及激光退火等领域。 |
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