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X射线能谱仪(EDS) X射线能谱仪是扫描电镜重要可选设备,能够在1-3分钟之内,检测出所感兴趣的微观区域,元素定性定量分布的结果! NS7能谱仪主要性能指标 探测器:液氮制冷Li(si)探测器,能量分辨率优于132ev 硅漂移电制冷探测器(sdd),可选 能量分辨率优于132ev 分析范围:4-100号元素定性定量分析 软件功能: 元素面分布, 线分布扫描 自动多点分析 自动全谱图像 自动化合物提取(可选) |
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