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光学影像测量仪 彩色系統 (150x150x150) mm (300x300x150) mm U2xy= 5.0+L/50 µm U1z= 4.0+L/25 µm XY Repeatability 5.0 µm ZRepeatability 4.0 µm Magnification ~20x-250x base on Type Vector 6x6 |
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