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精密位移台 x y Z 行程 20mm 20mm 10mm 定位精度 0.1um 0.1um 0.1um 分辨率 20um 20um 20um 最大负载能力 5kg 总重 30kg 尺寸 30kg 结构型式 400*300*150mm 隔振器 伺服电机+滚珠丝杠+气浮轴承导向+光栅反馈； 华卓精科主动隔振器 |
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