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SHCV大功率半自动探针台  （点击图片放大） 大功率半自动探针台 型号 SHCV-6-Auto SHCV-8-Auto SHCV-12-Auto 外形 860mm*850mm*700mm 880mm*860mm*750mm 1300mm*920mm*920mm 重量 180KG 250KG 380KG 电力需求 AC220V,50~60HZ Chuck 尺寸 6inch 8inch 12inch X-Y轴行程 6*6inch 8*8inch 12*12inch X-Y轴移动解析度 0.04um/0.1um X-Y轴重复定位精度 ±1um 移动速度 ≥ 50 mm/sec Z轴行程 10mm Z轴移动解析度 0.1um Z轴重复定位精度 ±1um Theta角度行程 ±15° Theta角度解析度 0.0003° 光栅尺 带光栅尺 样品固定方式 多孔真空吸附，独立分区控制 切换样品功能 样品台快速拉出 结构 同轴高压设计，镀金，电学独立悬空，可作为背电极使用 针座平台 规格 O型平台，最多可放置8个针座 O型平台，最多可放置10个针座 O型平台，最多可放置12个针座 行程&调节方式 平台可以快速升降，行程 6mm并带自动锁定功能;可以上下微调，行程25mm，升降精度1um 控制方式 手动控制盒（可选择带操纵杆） 软件控制 软件功能 wafer map的编辑 仪器的接入 数据的采集和图像化显示 数据的分析 差异数据的标定Ink mark 自定义Bin分 自动测试 通讯接口：RS232/EtherCAT/GPIB等 大功率规格 配置 大功率kelvin样品台 大功率夹具线缆 mult-pin 分流探针 大功率保护模块（针座用） 保护红外光幕，防止人员误进入工作区，触发时interlock互锁 大功率仪器连接模块 最大测试电压 10KV 最大测试电流 500A（脉冲） 光学特性 显微镜行程 2*2inch 显微镜行程 1um 放大倍数 20-4000X CCD像素 50W（模拟）/200W（数字）/500W（数字） 点针规格 点针精度 10微米/2微米/0.7微米 X-Y-Z行程 12mm-12mm-12mm 漏电精度10pA/100fA 接口形式 香蕉头/鳄鱼夹/同轴/叁轴/SMA，SHV接口 温控特性 温度范围 ﹣100~200℃ ﹣80~200℃ ﹣60~200℃ 温控精度 温度分辨率 ： 0.01°C 加热电源 LVDC 低压直流 最低控温速率 ±0.1°C /小时 传感器 Pt100 制冷方式 液氮制冷 减震 主动式减震系统，能够实现50X 物镜下画面不抖动 可选附件 chuck快速拉出装置 显微镜倾仰装置 激光修复 探针卡夹具 光强/波长测试接口部件 加热台 高低温样品台（-80~200℃） 防震桌 射频测试 PCB板夹具 液晶热点侦测套装 屏蔽箱 卡盘镀金 运用方向 晶圆测试，功率器件测试 特点： SiC/GaN晶圆测试 超高的测试精度 大功率晶圆测试 便捷的仪器接入 （-60~200℃）高低温Chuck 半自动测试 20~4000X光学显微放大 可升级全自动测试 功能丰富的测试软件 可升级射频测试 |
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