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Renishaw雷尼绍 RESOLUTE UHV非增量式光栅 Renishaw雷尼绍 RESOLUTE UHV(超高真空)非增量式光栅 RESOLUTE UHV为超高真空应用提供非增量式光栅技术,帮助客户提高测量效率,降低损坏风险,并增强 可靠性。 RESOLUTE UHV采用雷尼绍革命性创新的非增量式光栅技术,通过一个适合在低达10 -10 Torr的超高真空条件下应用的读数头充分发挥其技术优势。新的RESOLUTE UHV光栅系列的构造有利于进行残余气体分析 (RGA)而不会污染真空环境,非常适合性能高、半导体和科研等应用领域。 顶部测量效率显著提高 RESOLUTE的性能优于其他所有为UHV环境设计的非增量式光栅。RESOLUTE的分辨率达到32位(直线光栅达到1 nm),速度达到36 000转/分(直线光栅达到100 m/s),其超凡的技术指标是光栅技术的一大新突破! 但RESOLUTE带来的不仅仅是高速度……先进的检测技术还兼具内在的超低电子细分误差 (SDE) 和极低噪音(抖动)特点。 顶部结果: 速度波动稳定性提高10倍 位置稳定性提高10倍 可重复性提高10倍 电机产生的热量减少 顶部降低损坏风险 RESOLUTE是一款真正的非增量式光栅,意味着开启之后立即确定位置。 无需“开启并晃动” 无需备用电池 立即实现对轴控制 快速电机换向 保持高负载 例如,这些特点意味着在断电后仍可以确保机器人对晶片进行安全拾取操作。 顶部可靠性增强 RESOLUTE的中心技术消除了几种与光栅反馈有关的很常见失效模式。每次读数头收到来自主控制器的请求时,RESOLUTE栅距图像,以此确定绝dui位置。图像包含高度冗余,而读数头应用复杂的交叉检查和错误剔除,将定位精度保持在1 nm范围内。这种技术意味着不会发生计数错误或者“丢数”情况。 此外,RESOLUTE采用独有的内置位置校验算法,在输出之前主动校验每个位置读数,以便在任何潜在问题到达控制器之前就能及时提醒。同时它还可以监测速度、信号状态和温度。 RESOLUTE使用纯串行通信向控制器发送已校验的位置信息。根据RESOLUTE使用的所有协议,应用CRC检查,以便能够检测出传输过程中的数据损坏。 顶部直线光栅和圆光栅 RESOLUTE UHV提供一系列适合各种直线光栅和圆光栅应用的栅尺。 顶部直线光栅选项 名称 材料 类型 精度 长度 RELA ZeroMet 具有极低CTE的栅尺 ±1 μm 1.13 m RSLA 不锈钢 栅尺 长度1 m时精度±1.5 μm 长度2 m时精度±2.25 μm 长度3 m时精度±3 μm 长度5 m时精度±4 μm 5 m RTLA 不锈钢 配合FASTRACK使用的钢带栅尺 ±5 μm/m 10 m RTLA-S 不锈钢 带自带不干胶的钢带栅尺 ±5 μm/m 10 m 顶部圆光栅选项: RESA圆栅具有低转动惯量和大通孔。尺寸从52 mm至550 mm。 REXA超高精度圆栅配用双读数头使用时保证精度优于±1角秒(在尺寸100 mm和更大的圆栅上)。尺寸从52 mm至550 mm。 |
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