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日立仪器（上海）有限公司
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FIB-SEM双束、三束 离子显微镜
1.在低加速电压下进行高品质的TEM样品制备 2.搭载了高分辨SEM，在TEM样品制备过程中可实现适时检测 3.采用较大的有效离子束电流，大大提高了断面加工以及TEM样品制备的效率4.操作简便的TEM样品制备支持功能5.根据样品的处理方法不同，XVision300系列分为4种机型

产品介绍：

以精工纳米的SMI3000系列为基础，结合了拥用世界最高性能的蔡司高分辨Gemini电子显微镜筒，与以往的机种相比，大大减小了加工对样品的损伤，同时可实现高精度的加工以及3nm高分辨率的SEM观察。

规格
FOUP搬送型 HOLDER搬送型
双束装置(FIB-SEM) XVision 300 DB/F XVision 300 DB/H
三束装置(FIB-SEM-Ar) XVision 300 TB/F XVision 300 TB/H

主要配置
对应样品尺寸 最大300mmφ JEIDA规格晶圆
样品台 5轴自动对中样品台
“FIB”
加速电压 1～30kV

二次电子分辨率 4nm
有效束流 0.15pA～45nA
“SEM”
加速电压 1～30kV

二次电子分辨率 3nm
有效束流 4pA～20nA
“Ar”
加速电压 0.5～1kV

最大电流 10nA@1kV
联系方式
日立仪器（上海）有限公司
地址：上海市张江高科技园区碧波路690号9号楼101室
电话： 请点击此处与厂家联系
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