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日立仪器(上海)有限公司
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SFT9400系列 X射线荧光镀层厚度测量仪
产品副名称:可满足所有度层厚度测量需求的双检测器型镀层厚度测量仪
产品型号:SFT9400、SFT9450、SFT9455
产品特点:
★ 搭载有高功率X射线管及双检测器(半导体检测器+比例计数管)
可对应组合复杂的应用程序,特别是可识别Ni和Cu之类能量较为接近的元素。
・能够对Ni/Cu和Au/Ni/Cu在不使用二次滤波器的情况下进行测量
・对于含Br的电路板,可以不受Br的干扰对Au的镀层厚度进行高精度的测量
・可测量0.01μm以下的超薄的Au镀层厚度
★ 搭载块体FP发软件和薄膜FP法软件
对应含铅的合金镀膜和多层镀膜等,适用于广泛的运用领域
★ 适用超微小面积的测量
标准配备的15μmΦ的准直器,可对超微小面积进行测量。
★ 搭载了可3段切换的变焦距光学系统
★ 拥有防冲撞功能
★ 搭载高精度样品平台,更可测量大型线路板(SFT9455)
★ 搭载激光对焦系统
★ 搭载测试报告自动生成软件
产品介绍:
SFT9000系列里最高级的机型「SFT9400系列」搭载有75W高功率X射线管与双检测器(半导体检测器+比例计数管),能满足“薄膜镀层”、“合金镀层”、“超微小面积测量”等镀层厚度测量需求的高性能镀层厚度测量仪。
此外,SFT9400系列还在测量镀层厚度的基础上,新增了可对不同被测物体积材料进行定性分析和成分分析的功能。
SFT9400系列产品规格
型号 SFT9400/SFT9450/SFT9455
仪器的特长 微小面积对应及高性能型
可测量元素 原子序号22(Ti)~ 83(Bi)
X射线源 小型空气冷却型高功率X射线管球(Mo靶)
管电压:50kV 管电流:1.5mA Be窗
滤波器 一次滤波器:Mo-自动切换
二次滤波器:无
照射方式 上方垂直照射方式
检测器 半导体检测器+比例计数管(不需液氮的检测器)
仪器校正 自动校正+手动校正
准直器(标准配置) ○型(Φ0.015、Φ0.05、Φ0.1、Φ0.2mm)
安全性能 样品室门锁,样品防冲撞功能
样品图像对焦 有(激光对焦)
样品观察 CCD摄像头+倍率光学器+卤素灯照明
焦点切换功能 3段切换9400:10/40/70mm
9450:10/25/40mm
X-ray Station 台式电脑
(OS; MS-Windows XP®)
打印 喷墨打印机
应用 单层、双层、多成分合金薄膜、成分比同时测量、化学镍
软件 块体FP法软件、薄膜FP法软件
测量功能 自动测量、中心搜索、图像识别处理
修正功能 基材修正、已知样品修正、人工输入修正
统计处理功能 MS-EXCEL®
报告制作功能 MS-WORD®
联系方式
日立仪器(上海)有限公司
地址:上海市张江高科技园区碧波路690号9号楼101室
电话:
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