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日立仪器（上海）有限公司
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小型高性能聚焦离子束SMI3050 显微镜
产品特点：
1.利用标准附带的样品架，可以对应研究部门接触的各种形状的样品。2.利用任意选择的各种自动加工软件，实现高精度，高效率的TEM样品制作。3.利用装配任意选择的微量专业堆系统，接触离子电子束照射领域的样品表面，微量专业堆系统能够和样品平台一起倾斜。依据样品表面接触探针状态的倾斜，能够从另一角度实现了自由度很高的操作环境。4.运用标准附带的预备样品室，在大气中处理样品室。5.装配第2气体枪，是SII领先世界的技术，根据碳精棒位置实现为了三维纳米构造制作而在离子电子束照射领域周边必要的高浓度气体氛围。第2气体枪，为了不损失SMI3050的基本功能，利用可回收构造。再加上读取3D-CAD系统制作的单体构造数据，实现复杂形状的制作。
产品介绍：

从半导体器件到各种材料的研究,,FIB已经成为必不可少的手段。SMI3050聚焦离子束以其卓越的性能,，在进行高精度的微纳米加工以及高清晰度观察方面，深受客户的好评。

规格
样品尺寸 最大50mm、12mm厚
样品平台 5轴电动U-high、倾斜、平台
公用规格
集束离子电子束
加速电压 5～30kV （5kV step）
二维电子观察图像分辨能力 4nm@30kV
最大电流密度 30A/c㎡
标准选择
微量专业堆系统
4ch Multi-gas供给系统（MGS）
三维纳米加工数据制作系统
连续在TEM样品上自动加工软件（其它）
※还其它SMI3000系列丰富的可选项供选择
联系方式
日立仪器（上海）有限公司
地址：上海市张江高科技园区碧波路690号9号楼101室
电话： 请点击此处与厂家联系
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