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日立仪器（上海）有限公司
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具有Laser making功能的远红外观察显微镜
产品副名称：具有Laser making功能的远红外观察显微镜
产品型号：SOM3355-IR
产品特点：
1.红外观察/变通观察（表示倍率3200倍/显示在17寸液晶显示器上）2.激光Marking功能（波长532/355nm）3.搭载对应300mm Wafer样品的平台（X，Y，R），和SMI系列样品固定加是通用的。4.去除聚酰亚胺薄膜也有效。5.利用任意选择的联动系统，从缺陷检查装置上读取位置座标数据。就连成为目标的异物也可以操作。6.运用任意选择的CAD导航联动软件，关联CAD的布局信息。在座标Alignment上向连动平台布局表示的位置移动。
产品介绍：

是半导体的失效点定位，提高半导体生产的良率的有效手段之一。它运用了红外线的技术，从晶圆的背面进行失效点的观察并运用激光对观察到的失效点进行定位，从而大大的缩短了用FIB对失效点进行定位的时间。

规格
激光 532nm/355nm
成像倍数 5x/20x/50x/100x/50x（355nm用）
样品平台 对应300mm Wafer（X，Y，R）
和SMI通用的样品固定架
SMI系列的联动功能 对应50mm/200mm/300mm
自动对焦系统
有红外观察功能的数码CCD照相机
标准选择
缺陷检查装置联动功能
CAD导航功能
联系方式
日立仪器（上海）有限公司
地址：上海市张江高科技园区碧波路690号9号楼101室
电话： 请点击此处与厂家联系
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