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FIB聚焦粒子束 IC设计 芯片线路修改切线连线 定点切割 应用范围 1.定点切割 2.穿透式电子显微镜试片 3.IC线路修补和布局验证 4.制程上异常观察分析 5.晶相特性观察分析 6.故障位置定位用被动电压反差分析 |
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