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高精度、大量程非接触式测量仪 U2（xy平面）=（2.0+L/250）μm 0.1μm分辨率 高速DC伺服马300mm/sec 可选配的无电刷线性直流伺服电机控制500mm/sec 双放大倍数光学系统 Windows2000操作系统下View测量软件 客户自定义界面 M多元传感的照相机和激光探头 具有专利的可编程的环光（多种颜色LED版本） 独有的边缘寻边的算法 |
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