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等离子清洗机DIENER 等离子清洗机 DIENER 等离子清洗机 Femto PCCE 创新触摸屏 适用制程研发, 清洁, 活化, 蚀刻 外型尺寸:W 562 mm, H 211 mm, D 420 mm 反应室尺寸: Ø 100 mm, L 280 mm 气体供应: 流量控制型 ; 双气体通道 射频发生器: 40kHz/100 W, 可调变输出功率 真空泵: Leybold, Type S1.5 (1.5m3/h) 控制方式: 电脑控制 |
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