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北京华林嘉业科技有限公司
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蚀刻设备(非标设备)
蚀刻设备(非标设备)
1.设备概要
本设备对应ITO膜厚,利用四个区的蚀刻单元实施处理,根据膜厚不同,通过开关选择,切换气阀等管路系统。通过喷淋、倾斜和风刀去除液体,从而实现ITO膜的蚀刻过程。为对应彩色基板,可使用50℃(MAX55℃)液温的蚀刻液(盐酸、DIW、氯化铁)。
2.设备规格
(1)处理对象:STN、CSTN液晶用玻璃板
(2)处理目的:ITO膜蚀刻,干燥
(3)玻璃尺寸: 14″×16″,17″,T=0.4、0.55、0.7、1.1mm
(4)篮子规格:贵公司提供
(5)基板传送方向:从左到右,或从右到左
(6)设备外形尺寸:约11380×1400×1650mm
(7)干燥重量:约7000Kg
(8)基板传送高度:从地面至基板下面为900mm
(9)传送方式:水平枚叶式传送方式
(10)传送滚轮间距:基本为80mm
(11)处理时间:标准17秒/块;标准传送速度约2.1m/分
(12)启动准备时间:启动后约60分钟
3.外供电源
(1)主机:3相,380V,50Hz,约58kWA
(2)纯水用量:约32L/min,0.15Mpa G,电阻值10MΩ/cm以上
(3)冷却水用量:约0L/min
联系方式
北京华林嘉业科技有限公司
地址:北京市通州区
电话:
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