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保护气氛热处理炉(快速退火炉)-AG Associates Heatpulse
AccuThermo AW 610保护气氛快速退火炉半导体设备原形是AG Associates Heatpulse 610,是台式手动快速热处理系统,它用高强度的可见光加热单片Wafer或样品,工艺时间短,控温精度高,晶片加工尺寸2英寸到6英寸(圆形,方形,多边形或不定形)。因其独特的水冷腔体设计、先进的温度控制技术和独有的AW900软件控制系统,确保了极好的热均匀性,优越于传统的炉管工艺和其他RTP系统。


保护气氛快速退火炉AccuThermo AW 610

主要特点:

AccuThermo AW 610保护气氛快速退火炉半导体设备原形是AG Associates Heatpulse 610,是台式手动快速热处理系统,它用高强度的可见光加热单片Wafer或样品,工艺时间短,控温精度高,晶片加工尺寸2英寸到6英寸(圆形,方形,多边形或不定形)。因其独特的水冷腔体设计、先进的温度控制技术和独有的AW900软件控制系统,确保了极好的热均匀性,优越于传统的炉管工艺和其他RTP系统。



设备及供应特点:

· 设计技术经过30多年40多个国家上千位客户的认证

· 精确的温度控制部件:ERP 高温计(AG Associates 专利产品,可选)
· 晶圆尺寸:2〞,3〞,4〞,5",6"
· 单片闭环温度控制,控温传感器可选高温计或者热电偶
· 精确的时间温度模型满足特定的工艺要求
· 传统技术无法达到的快速升温和降温控制
· 工艺重复性高
· 设备稳定性高
· 设备很容易维护
· 本地经培训合格的工程师提供24/7 ON CALL 服务
· 在本地设备件仓库
先进的AW 900控制软件系统:

· 工艺全程控制
· 实时图形界面显示
· 实时工艺参数采集、显示和分析
· 软件控制的系统校准和故障诊断
工艺用途:

· 离子注入激活
· 硅化物合金退火
· 欧姆接触快速合金
· 氧化物生长
· 砷化镓工艺
· 其他快速热处理工艺
应用领域:

· 晶圆工厂
· 化合物产业:GaAs、GaN、GaP、GaInP、InP、SiC
· 光电领域:Planar optical waveguides,Lasers,LEDs and VCSELs
· MEMS
· 纳米技术
· 太阳能电池

联系方式
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地址:3251 Leonard Court Santa Clara,CA 95054
电话: 请点击此处与厂家联系

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