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敞开式光栅尺 HEIDENHAIN 敞开式光栅尺的扫描单元和带尺之间无机械接触。 典型的应用为：测量设备，比较器和其它线性测量的高精密装置，以及半导体工业的测量装备。 准确度等级 ± 0.5 μm 和更高 测量步距 0.001 μm (1nm) 测量长度 30 m 扫描单元与带尺无摩擦 体积小，重量轻 移动速度高 |
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