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共聚焦三维表面形貌仪
共聚焦三维表面形貌仪具有光学形貌上最高的横向分辨率，附有5百万自动分辨率的CCD相机， 空间下样可调至0.05um，是表面特征以及形貌的测量的最佳配置。

项 目 简 述
参数说明

共聚焦三维表面形貌仪


可 快速垂直扫描的旋转盘共焦技术。

使用高数值孔径 (0.95) 以及高倍数的 (150X) 3D全视野3D镜头，用以表征坡度分析 (最大斜率<干涉测量>: 72o vs 44o) 。

具有光学形貌上最高的横向分辨率，附有5百万自动分辨率的CCD相机， 空间下样可调至0.05um，是表面特征以及形貌的测量的最佳配置。

在测量表面粗糙度/表面反射率上无限制（0.1%- 100%)

应用于透明层/薄膜。

兼容亮视野&暗视野; 光学DIC。

长距离远摄镜头是用以测量高纵横比以及坡度特性的理想之选。

独有的稳定性。



共聚焦三维表面形貌仪

联系方式
南京冉锐科技有限公司
地址：南京市建邺区奥体大街128号奥体名座G座305室
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