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深圳市中图仪器股份有限公司

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激光干涉仪
一.中图仪器激光干涉仪显著特点
1.测量精度高、速度快,稳定性好
①使用美国高性能氦氖激光器,结合伺服稳频控制系统,达到高精度稳频(0.05ppm)
②以光波长(633nm)为测量单位,分辨率可达nm级
③使用高速光电信号采样和处理技术,测量速度可达到4m/s。
④配合有环境补偿单元,在环境变化的情况下,也可以得到较高的测量精度
⑤分离式干涉镜设计,避免了测量镜组由于主机发热而引起的镜组形变
2. 应用范围广
①可以实现线性、角度、直线度、垂直度、平面度等几何量的检测
②结合我们的软件系统,可以用于速度,加速度,振动分析以及稳定度等分析
③ 可实时监控精密加工机床等机器的动态数据,进行动态特性分析
3.软件界面友好
①使用当前热门的软件界面开发工具,软件界面人性化,操作简单。
②将静态测量和动态测量两种功能合并到一个软件中,更方便用户切换测量类型。
③向导式操作,流程清晰,更符合国内用户的使用习惯。
4 性价比高
性能达到了国外仪器的水准,价格是国内仪器的良心价。

二.中图仪器激光干涉仪用途
1.激光干涉仪是检定数控机床、坐标测量机位置精度的理想工具。检定时可按照规定标准处理测量数据并打印出误差曲线,为机床的修正提供可靠依据。
2.激光干涉仪配有各种附件,可测量小角度、平面度、直线度、 平行度、垂直度等形位误差,在现场使用尤为方便。
3.激光干涉仪可方便地安装在测长机上,取代原测长机的坐标系统,作为一般计量室中的长度基准。
4.激光干涉仪又是一种高精度的位移传感器,可直接安装于坐标镗、螺丝磨等精密机床及坐标测量机上作为坐标系统,使定位精度大为提高。
5.激光干涉仪具有对光栅、磁栅、线纹尺、感应同步器等精密测量元件的检测和刻划功能,仪器可按预定的间距自动完成检测和刻划工作。
6.激光干涉仪与圆分度器结合使用是一套高精度长度—角度比相计,可作为机床传动链,丝杆螺旋线等误差的测量系统。


三.中图仪器激光干涉仪检测数控机床方法
(1)安装设置激光干涉仪
(2)将激光束与被测量的轴校准
(3)启动测量软件,并输入相关参数(如材料膨胀系数)。
(4)在机床上输入测量程序,启动干涉仪测量,并记录数据。
(5)用测量软件分析测量数据,生产补偿文件。
光束快速准直步骤
(1)沿着运动轴将反射镜与干涉镜分开。
(2)移动机床工作台,当光束离开光靶外圆时停止移动。
垂直光束调整
(3)使用激光头后方的指形轮使两道光束回到相同的高度。
(4)使用三脚架中心主轴上的高度调整轮使激光头上下旋转,直到两道光束都击中光靶中心。
水平光束调整
(5)用三脚架左后方的小旋钮,调整激光头的角度偏转,使两道光束彼此重叠。
(6)用三脚架左边中间的大旋钮,调整激光头的水平位置,使两道光束击中光靶的中心。
(7)沿着运动轴重新开始移动机床工作台。在看到光束移开光靶时再次停止。重复步骤3到6,直到完成整个轴向的光镜准直。
(8)达到轴的末端时,将机床移回,使反光镜及线性反射镜互相靠近。注:若其中一道光束离开光闸的光靶,是由于反光镜侧向偏移所造成。上下左右移动反光镜,使从反光镜返回的光束与干涉镜的光束在光闸的光靶上互相重叠。
重复步骤1到8,直到两道光束在整个运动轴长度范围内都保持在光靶的中心。
(9)保持光束和测量轴准直。将光闸旋转到其测量位置。当反光镜沿着机床的整个运动长度移动时,检查线性数据采集软件中显示的信号强度。

四.中图仪器激光干涉仪软件内置标准
ISO230-2 老版国际标准
ISO230-1997 新版国际标准
ANSI B5.54 美国国家标准
ASME B89.1.12M 美国机械工程师协会标准
NMTBA 美国机床协会标准
BS 3800 英国机床标准
BS 4656 英国三测机标准
JIS B6330 日本国家标准
GB 17421-2000 中国国家标准
VDI 3441 德国机床标准

联系方式
深圳市中图仪器股份有限公司
地址:深圳市南山区西丽学苑大道1001号南山智园B1栋2楼
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