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LAB探针台 S系列为真正意义上的模块化结构设计探针台，让用户可完全围绕实际应用，选择最适合的功能配置，确保最佳成本解决方案的同时满足用户将来的升级需求。 S系列可定制的模块为：载物台及其移动基座模块、探针座放置平台移动模块和显微镜及其移动基座模块。用户可自行配置功能模块的同时，还可根据自身需求增加探针卡夹具、激光器、微腔体屏蔽系统、半自动控制系统、全自动控制系统、高温测试系等，满足更多的应用需求。 S系列还为用户提供了一个高刚性和稳定性的测试系统。载物台移动基座和探针台底座一体化的结构设计，显著地提高了载物台的结构刚性和稳定性。显微镜支撑为龙门结构，可应用于高放大倍率的光学系统，保证光学系统的稳定性。探针座放置平台采用高刚性结构设计，保证平台板整体的垂直应力形变在5μm/10N以内，拥有极高的稳定性以满足高精度探针座的定位要求。 |
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