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压电纳米定位台  （点击图片放大） P11 是压电陶瓷驱动的压电纳米定位台，1-3维多种规格可选，压电纳米定位台采用无摩擦无空回的柔性铰链导向机构，采用有限元分析优化柔性铰链结构，具有超高的导向精度，定位精度可达纳米级，分辨率达亚纳米，毫秒级定位稳定时间，产品体积小巧，结构紧凑，易于集成到其他设备中。 特点： 产品体积小巧，结构紧凑 1~3维三个规格版本可选 单轴运动行程100μm，分辨率4nm 开环/闭环版本可选 应用： 显微光学 •半导体测试• 纳米定位 •生物技术 •微加工• 微操作 |
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