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HRMS-800 高温四探针测量系统 ■ 技术规格 温度范围：室温-600°C 升温斜率：3°C /min (典型值） 显示精度：±0.1°C 控温精度：±1°C 电阻：10～106 Ω 电阻率：10～106 Ω.cm 方块电阻：10～106 Ω/□ 可测半导体材料尺寸 ：薄膜直径： Φ15～30mm 探针间距：2±0.01mm 探针压力: 0～2kg可调,最大压力约2kg 针间绝缘材料：99陶瓷或红宝石 针间绝缘电阻：≥1000MΩ 探针材料：碳化钨 数据传输：2个USB接口 |
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