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压电偏转镜 (点击图片放大) 压电偏转镜是以压电陶瓷作为驱动元件,内部采用无回差柔性铰链并联导向结构设计,外部机械结构通过内部多支压电陶瓷的伸缩来实现单轴角度偏转运动,补偿量小,确保偏转具有极佳的运动精度和超高的稳定性,通过内置高精度传感器进行闭环控制,实现亚微弧度分辨率及微弧度定位精度。 P33压电偏转镜为两轴θx、θy运动压电偏转镜,4个压电陶瓷结构设计而成,每轴采用两个压电陶瓷,以推拉模式形成偏转运动,采用桥式连接电路控制,四个执行机构以90°角平分放置,是成堆的差异控制分布形式。最大偏转角度13.5mrad, 分辨率可达0.02urad。 特点: θx、θy二维偏转镜 最大偏转角度13.5mrad 分辨率可达0.02urad 差分式并联结构、柔性铰链导向系统、超高的导向精度 毫秒级响应时间 应用: 激光通信技术•光束偏摆/稳定•图像处理/稳定•主动自适应光学•隔行扫描、抖动 |
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