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Busch普旭半导体真空泵
COBRA 半导体螺杆真空泵
极限压力: 0.001 - 0.005 hPa (mbar)
抽气速率：100 - 9,000 m 3 /h

COBRA 半导体螺杆真空泵为工艺严苛的半导体、太阳能、平板显示器生产及各种镀膜应用提供有效的解决方案。
COBRA 半导体螺杆真空泵配有高效电机，因此可提供绝佳的节能效果。简洁的设计结合 Busch 成熟的螺杆技术（可选择通过法兰直联一台罗茨真空泵）使 COBRA 半导体螺杆真空泵具备强劲、可靠、少维护的特性。
COBRA 半导体螺杆真空泵有多种型号，且适用于各类工艺。紧凑型设计简化了安装过程，即使在较狭小的空间也能轻松安装。此系列拥有同等级真空泵中最大的抽速，可提供最大的抽气量（甚至是抽氢气）且可耐受一定程度的粉尘颗粒。

联系方式
普旭真空设备国际贸易（上海）有限公司
地址：上海市松江工业区东部新区茜浦路195弄5号
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