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压电物镜定位器  （点击图片放大） 压电物镜定位器是专门为聚焦显微而设计的，采用无回差柔性铰链并联导向结构设计，物镜补偿量小，具有超高聚焦稳定性，物镜定位器装入显微检测/测量或者观测装置可以带动镜片聚焦提高精度，可与多种高分辨率的显微镜配合使用。 P73-压电物镜定位器为小体积大行程压电物镜定位器，内置高性能压电陶瓷，闭环精度高，响应速度快、满行程线性度达纳米量级，可进行激光聚焦，已广泛应用与晶圆切割、半导体及微电子加工领域。 特点： 运动范围500μm 定位精度达纳米级 响应速度可达毫秒级 直线运动无偏航 应用： 晶圆切割•生物显微•白光干涉• 原子力显微镜•差动聚焦检测系统•显微光学成像 |
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