积分球测试探针台，材料表面电阻率测量，低电流，电容检测探针台
样品变温台
特点
低噪声，直流电驱动
隔离套装实现PA级电信测试精度
隔绝水循环保护chuck底座
可以在绝大多数探针台上加装
易于装卸
规格
真空吸附载物台的尺寸
4, 6, 8,英寸直径，1英寸厚度
Chuck 平整度
+ -10 微米
控温范围
常温到300摄氏度
控温精度
0.1℃
温度稳定度
+- 1%
从25 ℃开始升温时间
100 ℃150 ℃200 ℃ 300 ℃
(4 英寸chuck，单位为
分钟：秒 )
1:00 2:30 3:004:30
电源
直流
材质
不锈钢
需求
供电
220 VAC, 60Hz
电力消耗
4英寸chuck 700W
6英寸chuck 1000W
8英寸chuck 1500 W
真空
-250 mmHg, 7 liter/min
循环水
20 Liter/Min
尺寸
控制器 350mm长 x 300mm宽 x 150mm高
重20 Kg
附件
高温配件，可以升温至300 ℃, 400 ℃, 500 ℃, 600 ℃, 700 ℃
低温配件，可以冷却至5 ℃, -50 ℃, -65 ℃, 或者低温至-196 ℃
用于其他品牌探针台的安装转接口
方形chuck
更高温度控制精度
更高温度均匀性
加速升温配件
水冷箱
更低电流测试用的装置
真空腔体
测试腔体
真空吸附的chuck
镀金的chuck
镀镍的chuck
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联系方式
深圳市森东宝科技有限公司
地址：龙华区大浪街道新石社区嘉义源数码科技园2号1层A区
电话：
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