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精密定位转台
WaferMax T 转台
Aerotech的Wafermax T 转台是那些要求低矮外形封装同时又具备高性能的应用的理想选择。原型设计用于晶片检查，Wafermax T 转台与其它平台紧密堆叠误差极小的优点适用于多种应用。当需要有限转动的时候，标准的25mm通孔易于布置真空线路。
直径：106.7 mm
精度：±5 arc sec
负载：40 kg

Aerotech 更为工业提供
全套现成的商用 (COTS) 运动控制部件和系统。
我们的解决方案可减少项目的整体开发时间，并
尽可能地降低开发成本。我们根据丰富的系统工
程知识与核心运动技术，为客户定制解决方案。
Aerotech 的所有产品均由宾夕法尼亚州匹兹堡总

ANT95-L系列纳米平移台1.实现大行程纳米定位
2.高分辨率（1纳米），重复定位精度（75纳米），定位精度（250纳米）
3.1纳米的位置稳定性
4.抗爬行十字交叉滚珠轴承
5.高动态特性
ANT95-20A5-04D, ANT95-10A5-04D,
ANT95-20A5-08D, ANT95-10A5-08D,
ANT95-20A5-12D, ANT95-10A5-12D,
ANT95－20A5－04D,

ANT95-XY系列双轴纳米平移台1.结构紧凑25mm*25mm或50mm*50mm行程
2.实现大行程纳米定位
3.高分辨率（1纳米），重复定位精度（75纳米），定位精度（250纳米）
4.1纳米的位置稳定性
5.抗爬行十字交叉滚珠轴承
6.高动态特性


ANT130-L-Z系列纳米垂直平移台1.大行程实现纳米定位
2.高分辨率（2纳米），重复定位精度（75纳米），定位精度（300纳米）
3.2纳米的位置稳定性
4.抗爬行十字交叉滚珠轴承
5.高动态特性
ANT130-2404-A
ANT130-1406-B
ANT130-3103-B
ANT130-6202-C
ANT130-6301-A
ANT130-3831-C
ANT130-7809-C
ANT130-3831-B
ANT130-3832-B
ANT130-1406-C
ANT130-1217-C
ANT130-1406-A
ALS5000 直线电机平台
1.适合恶劣环境
2.坚.台面和导轨罩
3.完全整合电缆管理系统
4.高精度，非接触式直线编码器（光栅尺）
5.可选气体净化的密封设计
行程1000mm
精度±1.0um
负载135.0kg

ALS5000WB 直线电机平台
1.宽底座可以承受较大的偏移负载
2.强大的双直线电机驱动
3.坚硬涂层台面和导轨罩
4.完全整合电缆管理系统
5.可选气体净化的密封设计
行程1000mm
精度±1.0um
负载135.0kg
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