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纳米定位台  （点击图片放大） 纳米定位台是以压电陶瓷作为驱动源，结合柔性铰链机构实现X轴、Y轴、XY轴、XYZ轴精密运动的平台，驱动形式包括压电陶瓷直驱式与机构放大式两种，运动范围最大可达110μm, 具有体积小、无摩擦、响应速度快等特点，配置高精度传感器，可以实现纳米级分辨率、定位精度具有极高的可靠性，压电平移台在精密定位领域中发挥着至关重要的作用。 P66.XYZ II压电纳米定位台为压电陶瓷直驱机构压电平台，采用柔性铰链结构设计具有无摩擦、无反弹、响应速度快等特点，最大运动行程110μm，分辨率可达0.1nm，定位精度实现纳米级，可通过自由组合成二维、三维压电纳米定位台。 特点： 柔性铰链结构设计，无摩擦无反弹 最大行程110μm 开环与闭环版本可选 FEA有限元分析优化产品性能 可组合成二维、三维纳米定位台 应用： 光纤拉伸/端面检测/对接 硬盘测试 电化学加工 3D锡膏检测 精密定位 显微成像 |
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