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半导体工艺清洗腐蚀设备-立式石英管清洗设备 本设备为立式单工位，用于石英钟罩及石英器皿的清洗，通过PLC控制相应的泵、阀，石英钟罩转动、进行喷酸（石英钟罩内、外壁）、自动卸酸、DIW高压喷射（同时石英钟罩转动）、电阻率(DIW出口)自动监测、氮气吹干以保证石英钟罩及石英器皿上油污、颗粒、杂质的彻底清除 |
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