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北京航星联合科技有限公司
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1-3轴气浮台
北京航星联合科技有限公司/天津中精微仪器设备有限公司气浮气浮平移台系列是经过我们长期不懈努力推出的，精度高、刚度特别强，已获国家专利。国内外先进水平
气浮平移台实现了设计定型，可以快速订制，行程250mm（12寸）XY台正在备现货。
我公司的气浮平移台产品，一般采用直线电机、光栅尺配合气浮导轨的方法，分辨率好于200nm，精度等同于光栅精度。
也可提供双频激光反馈控制，稳定精度可达20nm，有成功案例。采取隔尘措施后，可应用于高精度生产场合。可提供超长行程单轴工作台。
?也可采用音圈电机、高精度丝杠配合我们独创的5自由度气浮联轴器，驱动工作台
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