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上海维翰光电科技有限公司
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奥林巴斯半导体检查显微镜MX51
能对应150 mm晶圆／FPD玻璃基板的手动操作型号（反射透射兼用）
对应从明视场观察到荧光观察的多种观察方法。高度的扩展性能可以对应不同的样品，性价比优异。

工业检查显微镜 MX51

观察影像实例
晶圆（明视场观察） 晶圆（暗视场观察）

晶圆（微分干涉观察） 彩色滤色片（透射观察）

业检测显微镜 MX51 规格

光学系统
UIS2光学系统（无限远校正）

机身
观察方法
明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光/荧光

反射/透射
反射/透射

照明装置
明暗视场反射照明管（明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光）
通用反射照明管（明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光/荧光）

照明系统
反射照明
100 W卤素/100 W水银/75 W氙

透射照明
纤维光导

对焦单元
电动/手动
手动

行程
32 mm

分辨率/微调灵敏度
微调旋钮转动1周移动0.1 mm

最大样本高度
30 mm

物镜转换器
电动型
明视场微分干涉6孔
明暗视场微分干涉5孔
明暗视场微分干涉中心输出5孔
明暗视场微分干涉6孔

手动式
明视场5孔
明视场微分干涉6孔
明视场微分干涉中心输出6孔
明视场微分干涉7孔
明暗视场5孔
明暗视场微分干涉5孔
明暗视场微分干涉中心输出5孔
明暗视场微分干涉6孔

载物台
行程
6×6 英寸右下手柄：158（X）×158（Y）mm（透射照明范围100×100 mm）
4×4 英寸右下（左下）手柄：100（X）×105（Y）mm（透射照明范围96×96 mm）

观察筒
广角视场（视场数22）
倒置
双目/三目观察筒

正像
三目观察筒

超宽视场（视场数26.5）
倒置
三目观察筒

正像
倾斜三目观察筒

附件单元
DUV单元/IR单元/自动装载

外形尺寸
430（W）×591（D）×495（H）mm（标准组合）

重量
26 kg（标准组合）

联系方式
上海维翰光电科技有限公司
地址：上海市松江区姚北路128号张慕工业园区12栋2楼
电话： 请点击此处与厂家联系
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