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上海维翰光电科技有限公司
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奥林巴斯半导体检查显微镜MX61
名称：半导体检查显微镜
编号：MX61

产品说明
能对应200 mm晶圆和FPD玻璃基板的电动型号（反射透射兼用）
能够应对从明视场观察到荧光观察的多种观察方法。切换物镜时亮度光圈连动能进行自动调节。这些功能实现了快速舒适的检查环境。

半导体/FPD检查显微镜 MX61

观察影像实例
晶圆（明视场观察） 晶圆（暗视场观察）

晶圆（微分干涉观察） 彩色滤色片（透射观察）

半导体／FPD检查显微镜 MX61 规格

光学系统
UIS2光学系统（无限远校正）

机身
观察方法
明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光/荧光

反射/透射
反射/透射

照明装置
机身一体型（明视场，暗视场＋1选件）

照明系统
反射照明
100 W卤素/100 W水银/75 W氙

透射照明
纤维光导

对焦单元
电动/手动
手动

行程
32 mm

分辨率/微调灵敏度
微调旋钮转动1周移动0.1 mm

最大样本高度
30 mm

物镜转换器
电动型
明视场微分干涉6孔
明暗视场微分干涉5孔
明暗视场微分干涉6孔
明暗视场微分干涉中心输出5孔

手动式
-

载物台
行程
8×8 英寸右下手柄：210（X）×210（Y）mm（透射照明范围189×189 mm）
6×6 英寸右下手柄：158（X）×158（Y）mm

观察筒
广角视场（视场数22）
倒置
双目/三目观察筒

正像
三目观察筒

超宽视场（视场数26.5）
倒置
三目观察筒

正像
倾斜三目观察筒

附件单元
DUV单元/IR单元/电动载物台/自动装载

外形尺寸
509（W）×843（D）×507（H）mm（标准组合）

重量
40 kg（标准组合


联系方式
上海维翰光电科技有限公司
地址：上海市松江区姚北路128号张慕工业园区12栋2楼
电话： 请点击此处与厂家联系
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