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压电扫描台  （点击图片放大） 压电扫描台中心具有通孔，台体集成高精度传感器，采用柔性铰链设计、无机械摩擦、分辨率高。产品主要应用于透光精密光学器件的定位，生物显微与显微成像系统。压电扫描台包括一维、二维、三维三种运动形式，最大运动范围可达370μm。 P-78压电扫描台，采用一体式设计，柔性铰链机构， XYZ三维运动无耦合，无机械摩擦，响应速度快，满足不同应用的需求。 特点： 1-3维运动 最大运动范围370μm 一体式结构设计，多维运动无耦合 最大透光孔径35mm 闭环精度可达0.15%F.S. 应用： 原子力显微镜•高分辨率CCD•三维共焦显微•激光平面干涉•纳米光刻•红外热成像扫描•光纤对接•纳米光刻 |
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