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日立高科技贸易（上海）有限公司
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日立聚焦离子束系统FB2200
新一代样品制备系统，效率高，精度高，质量更高。

具有大面积离子束减薄能力，快速制备透射电子显微镜样品。

特点
60nA离子束电流，提高了样品制备效率
原位低加速电压，使样品制备损伤率更低
采用日立专利超薄样品制备技术（*），可制作出极微小的精度高的薄膜样品
与日立其它扫描电子显微镜，透射电子显微镜，扫描透射电子显微镜的样品杆互换共用（*），可快速简单转移样品，方便下一步观察和分析
（*）：可选件
*照片中所显示的仪器包含可选件。

规格

加速电压 2 - 40 kV
最大束流 60nA 以上
最大束流密度 50 A/cm2 以上
SIM分辨率 6nm 以上
放大倍率 60× - 300,000×
离子光学 离子源 镓（Ga）
限束光阑 马达驱动为可选件
透镜/偏转器 静电二级透镜/八极静电型偏转
沉积 两种气源（钨和碳）
加工功能 盒状与矢径扫描图形加工
图像采集 最大 2,000 × 2,000 像素
真空系统 镜筒 离子泵 × 2
样品室 涡轮分子泵 × 1
前级真空 机械泵 × 2（干泵可自选）
联系方式
日立高科技贸易（上海）有限公司
地址：上海浦东新区陆家嘴环路1000号汇丰大厦21楼 200041
电话： 请点击此处与厂家联系
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