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SH系列综合型分析探针台  （点击图片放大） 型号 SH-6 SH-8 SH-12 外形 820mm长*720mm宽*890mm高 960mm长*850mm宽*900mm高 1300mm长*920mm宽*920mm高 重量 170公斤 约230公斤 约300公斤 电力需求 220VC,50~60Hz 样品台 尺寸 6英寸，可360度旋转 8英寸，可360度旋转 12英寸，可360度旋转 行程 X-Y行程6*6英寸 X-Y行程8*8英寸 X-Y行程12英寸*12英寸 移动精度 1um 样品固定方式 真空吸附 背电极测试功能 有，样品台电学独立悬空 针座平台 规格 U型平台，最多可放置6个针座 U型平台，最多可放置10个针座 U型平台，最多可放置12个针座 行程&调节方式 平台可以快速升降，行程 6mm并带自动锁定功能;可以上下微调，行程25mm，升降精度1um 光学特性 显微镜行程 X-Y轴行程2英寸*2英寸，Z轴：50.8mm 显微镜移动精度 1um 切换镜头方式 显微镜快速倾仰30度 注1 放大倍数 20~4000X 镜头规格 目镜：10X；物镜：5X,10X,20X,50X、100X(选配) CCD像素 50W(模拟)/200W(数字)/500W(数字) 点针规格 X-Y-Z行程 12mm-12mm-12mm/8mm-8mm-8mm 机械精度 10微米/2微米/0.7微米/0.1微米 漏电精度 10pA/100fA (配置屏蔽箱时) 接口形式 香蕉头/鳄鱼夹/同轴/叁轴接口 应用方向 晶圆测试，光电器件测试，PCB/封装器件测试，射频测试，高压/大电流测试等 可选附件 卡盘快速拉出装置 显微镜倾仰装置(倾仰30度) 显微镜气动升降装置 激光微加工 探针卡夹具 显微镜暗场/DIC/Normarski 检测光强/波长测试接口部件 液晶热点侦测套装 高压/大电流测试套装 带真空底座的活动Chuck 加热台 高低温样品台 屏蔽箱 转接头 防震台 镀金卡盘 同轴叁轴卡盘 样品台快速升降，微调升降装置选件 样品台旋转微调选件 光强/波长测试选件 射频测试附件 有源探头 低电流/电容测试 兼容积分球测试选件 光纤夹具耦合测试选件 封装器件夹具 PCB/封装夹具测试选件 特殊定制 注1 配置体式显微镜(放大倍数16~100X)时显微镜固定，无需切换镜头 |
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