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SE系列晶圆测试探针台  （点击图片放大） 型号:SE-6 分析探针台 特点 同轴驱动CHUCK 可以升级做射频测试 20X~4000X 光学显微放大 无后座力移动 可以选择显微镜倾仰装置或者气动升降装置 规格 真空吸附型Chuck 6" 不锈钢 Chuck X-Y轴行程 6" x6" Chuck 旋转角度 0~360 度 Chuck升降 4mm 针座平台 可以放置8个针座 显微镜X-Y轴行程 2" x2" 需求 电力 220 VAC, 60Hz 真空 -250 mmHg, 7 liter/min 尺寸 920mm长 x 660mm宽 x 700mm高 (带显微镜) 重 100 Kg(带显微镜) 可选附件 激光切割 探针卡夹具 加热台 高低温样品台 防震桌 显微镜气动升降装置 显微镜暗场 / DIC/Normarski 检测 光强/波长测试接口部件 射频测试探头和线缆 有源探头 低电流/电容测试 高压测试 CCD视频系统 液晶漏电分析套装 屏蔽箱 大电流测试套件 镀金Chuck |
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