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SM系列小型分析探针台  （点击图片放大） 小型分析探针台 型号 SM-4 SM-6 mini SM-6 外形 400mm长*400mm宽*550mm高 400mm长*400mm宽*550mm高 680mm长*530mm宽*550mm高 重量 约30KG 约35KG 约45KG 电力需求 220VC,50~60Hz 样品台 尺寸 4英寸，可360度旋转 6英寸，可360度旋转 6英寸，可360度旋转 X-Y行程 4*4英寸 4*4英寸 6*6英寸 移动精度 10um 样品固定方式 真空吸附 背电极测试功能 有，样品台电学独立悬空 针座平台 U型平台，最多可放置6个针座 U型平台，最多可放置8个针座 光学特性 显微镜行程 可360度旋转，Z轴：50.8mm 放大倍数 16~100X （200X可选） CCD像素 50W（模拟）/200W（数字）/500W（数字） 点针规格 X-Y-Z行程 12mm-12mm-12mm 机械精度 10微米/2微米/0.7微米 漏电精度 10pA/100fA （配置屏蔽箱时） 接口形式 香蕉头/鳄鱼夹/同轴/叁轴接口 可选附件 加热台 光强/波长测试选件 屏蔽箱 射频测试附件 转接头 有源探头 防震台 低电流/电容测试选件 镀金卡盘 兼容积分球测试选件 同轴/三轴卡盘 光纤夹具耦合测试选件 样品台快速升降，微调升降装置选件 PCB/封装夹具测试选件 样品台旋转微调选件 特殊定制 应用方向 芯片及LD/LED/PD测试，PCB/封装器件测试，射频测试等。 |
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