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Si-Plasma常压等离子清洗设备 特色 ●多项专利设计 ●电浆效率高、处理速度快、清洁效能优异 ●处理均匀性佳、清洁范围可达1000mm ●可使用气体：N2、Air ●操作成本低 ●无污染 ●无静电残留 ●无arc ●可依据客户需求作修改 应用产业 ●LCD或OLED的玻璃清洁 ●PCB之表面清洁、活化、改质或去残胶 ●晶圆之表面清洁或去光阻 ●工业电子元件之表面清洁、活化或改质 ●印刷或黏着前之表面粗化或清洁 |
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