在线工博会
返回
北京华跃英泰科技有限公司
公司信息 产品/服务 公司新闻

布鲁克（原veeco)大样品台非接触式表面轮廓仪NPFLEX
1． 非接触式光学测量方式，对样品表面无损伤。
2． 测试时间短， 垂直方向上可达亚纳米级分辨率。
3． 快速、准确测量多个样品 ，实现高速材料表面表征。
4． 广泛的应用领域，样品的反射率从0.1%至100%均可测量。
5． 操作非常简单。
6． 高分辩、高速测量、高重复性、高可靠性的完美结合
7． 功能强大、行业领先的专业分析软件：
a) 台阶高度
b) 表面粗糙度
c) 多区域测量
d) 弯曲测量
e) 角度测量
f) 厚膜分析软件包－适用透明、半透明厚膜厚度及膜表面粗糙度分析
g) 光学软件包－应用于光学级表面表征
h) 数据存储制造业软件包－适用于硬盘部件的测量检测

8． 可测量各种复杂形状样品。

三、 性能参数指标介绍：
1．工作条件：
电源：220V，1500W
环境温度：10℃～35℃
环境湿度： 10%～85%

2． 仪器尺寸：172cm H x 77cm D x 81cm W

3． 最大样品尺寸：H = 350mm ; D = 304mm; W = 304mm

4． 最大样品重量：50kg

5． 垂直分辨率：<0.15nm；（可测量出亚纳米级的表面结构）。

6． RMS重复性：0.03nm；（在测量超光滑平面的时候，多次测量的重复性非常好）。

7． 台阶高度测量的精度：0.5%；（对高度测量的精确度可控制在0.5%以内）。

8． 台阶高度测量的重复性：<0.12% 1σ；（对高度测量的重复性可控制在0.12%以内）。

9． 光学分辨率：0.49um；（在使用50倍物镜的情况下，可分辨的最小尺寸为0.49um）。

10． 最大扫描速度：28.1um/s；（纵向扫描的速度可达28.1um/s）。

11． 垂直方向最大扫描范围：10mm，全量程闭环控制，无需缝合。（纵向最大的扫描长度为10mm，并且此测量为闭环控制测量，保证了测量的准确性）。
联系方式
北京华跃英泰科技有限公司
地址：海淀区硅谷亮城
电话： 请点击此处与厂家联系
电脑版 客户端 关于我们
佳工机电网 - 机电行业首选网站